Leica Absolute Tracker AT960

Purpose

플래그쉽 6자유도 레이저트래커 (완전 6DoF 대응 트래커, 더 높은 측정범위와 정밀도, 실시간 데이터 전송 및 제어 시스템 연동)

Model

Leica AT960

Location

TIP 301

Leica Absolute Tracker ATS600

Purpose

3D 레이저 트래커(직접 스캐닝, 반사체 측정 모드, 선택적 스캐닝)

Model

Leica ATS600

Location

TIP 301

Alicona Tool Shape Meter

Purpose

To measure matching tool shape and surface roughness

Model

Infinite Focus G6

Location

Tip 301

spec

Min.Vertical resolution : 10nm

Measurement range

200*200*100 [mm^3]
,Tilt : -15~90 [degree]